氮化氟

氮化氟是一种无机化合物，化学式为NF3。它是一种无色、有毒、易燃的气体，常温常压下呈现为无色透明的气体。

氮化氟可以通过将尿素和氨气在高温下反应，然后再与氟化铝反应制得。此外，还可以通过电解氟化氢得到。

氮化氟主要用于半导体产业中作为刻蚀剂和清洗剂。它可以被用于去除硅片表面的氧化层和光刻胶。此外，氮化氟也可以用于氟化有机化合物和各种金属表面的处理。

需要注意的是，由于氮化氟对人体有毒，接触或吸入过量的氮化氟可能会引起中毒反应，并造成呼吸系统、中枢神经系统和肝脏等器官的损害。因此，使用氮化氟时必须遵循严格的安全操作规程，并配备相应的个人防护装备。