碳化钽、一碳化钽的生产方法

碳化钽和一碳化钽的生产方法如下:

碳化钽:

碳化钽的生产方法主要包括两个步骤,即碳化物的制备和烧结。碳化钽的制备通常采用化学气相沉积法、热解法、高温还原法等方法,其中化学气相沉积法是目前比较常用的方法。制备得到的碳化物通常是粉末状的,需要进行烧结成型,烧结温度一般在2200℃以上。

一碳化钽:

一碳化钽的生产方法主要是通过化学气相沉积法制备。该方法利用钽五酸气体和甲烷在高温下反应,生成一碳化钽的气相物质,再在基板上沉积形成固态材料。制备出的一碳化钽通常也需要进行烧结成型,烧结温度一般在2200℃以上。