氮化钽、一氮化钽的生产方法

氮化钽和一氮化钽的主要生产方法如下：

氮化钽的生产方法：

1. 化学气相沉积法：利用化学气相沉积技术，在高温高压氮气氛下，通过化学反应沉积氮化钽薄膜，再经过退火处理得到氮化钽材料；

2. 热解法：将钽粉末与氨气或氮气在高温下反应，生成氮化钽；

3. 其他方法：还包括真空电弧熔炼法、快速凝固法、激光熔化等方法。

一氮化钽的生产方法：

1. 热解法：将钽粉末与氨气或氮气在高温下反应，生成一氮化钽；

2. 气相沉积法：利用化学气相沉积技术，在高温高压氮气氛下，通过化学反应沉积一氮化钽薄膜，再经过退火处理得到一氮化钽材料；

3. 其他方法：还包括快速凝固法、激光熔化等方法。