四氟化二硫的国家标准

以下是关于四氟化二硫(SF4)的一些国家标准:

1. 国家标准GB/T 6223-2017《化学试剂 化学分析试剂 二硫化碳》规定了SF4的化学分析方法。

2. 国家标准GB/T 13843-2018《电子束辅助蚀刻用材料》中规定了SF4作为电子束辅助蚀刻用材料的技术要求和测试方法。

3. 国家标准GB/T 18620-2019《半导体器件 氮化硅绝缘膜的制备方法》中规定了使用SF4作为氮化硅绝缘膜的制备方法和要求。

需要注意的是,国家标准是对某一领域或某一产品所做出的规定和要求,以确保产品质量、安全和环保。在使用和生产SF4时,应遵守相关的国家标准,以确保产品质量和安全。