三硫化二硼在半导体工业中有什么作用？

三硫化二硼（boron trisulfide）在半导体工业中主要用作气相外延（CVD）和物理气相沉积（PVD）的前驱体材料，用于制备类石墨烯、二维过渡族金属硫化物和其他二维纳米材料。它可以与金属蒸汽反应并形成二维材料片层，这些材料具有优异的电子、光学和力学性质，可用于制造高性能的半导体器件和传感器。此外，三硫化二硼还可用于制备高性能润滑剂、防蚀剂和电子器件中的电解质等。