科美特三氟化氮 科美特三氟化氮(NF3)是一种无色、无臭、易燃且具有强烈氧化性的气体。它由一个氮原子和三个氟原子组成,化学式为NF3。NF3是一种重要的氟化物化合物,主要用于半导体制造过程中清洗反应器和蚀刻掩模。它还用于液晶显示器的制造和太阳能电池板的生产。然而,NF3也被认为是一种温室气体,并且其温室效应比二氧化碳高约17000倍。因此,尽管NF3释放量相对较小,但仍被视为对全球气候变化做出贡献的因素之一。