二氧化钛衬底

二氧化钛衬底是一种用于制备光电器件的基础材料。它具有良好的光学和电学性能，在太阳能电池、光电探测器和发光二极管等领域有广泛的应用。

二氧化钛衬底具有晶体结构稳定、化学性质惰性、热膨胀系数小等优点，在制备光电器件时，通常选择其（001）或（110）晶面作为衬底表面。其中，（001）晶面对于生长单晶GaAs和InP等III-V族化合物半导体材料和ZnO等II-VI族化合物半导体材料非常适合，而（110）晶面则适用于Si、Ge等元素半导体材料的生长。

在制备二氧化钛衬底时，通常采用物理气相沉积、分子束外延、溅射等方法。此外，还可以通过化学气相沉积、水热法等方法制备。

需要注意的是，在使用二氧化钛衬底进行光电器件制备时，需要特别注意其表面处理。常见的处理方法包括机械抛光、化学机械抛光、酸洗等，以实现表面平整度和清洁度的要求。