硒化亚锗的生产方法
硒化亚锗可以通过多种方法制备,以下是其中的两种主要方法:
1. 化学气相沉积(CVD):该方法是在高温下将硒化氢和氯化锗混合送入反应室中,使其在基片表面沉积形成硒化亚锗。该方法具有反应速度快、产物纯度高等优点,是一种比较常用的制备方法。
2. 物理气相沉积(PVD):该方法是将硒化亚锗原料加热至高温,在真空条件下蒸发,使其沉积在基片表面形成硒化亚锗。该方法具有反应温度低、对基片材料适应性强等优点,但是反应速度慢,常常需要长时间的反应才能得到较大量的产物。
此外,还有分子束外延(MBE)等方法也可以用来制备硒化亚锗。