氟化氪激光器

氟化氪激光器是一种气体激光器，其工作介质为氟化氪 (KrF) 气体。其基本结构包括放电腔体、反射镜和能量传输系统。

在激光器的放电腔体中，通过施加高电压和高频率的电场来激发氟化氪分子的能级跃迁，产生受激辐射并释放出激光能量。放电腔体一般采用平行板式或同心圆筒式结构，内部充入稀薄的氟化氪气体。

放电腔体两侧装有反射镜，其中一个反射镜是半透明的，以便将激光输出。两个反射镜的组合形成了光学腔，使激光在反射镜之间多次反射，从而增强激光的能量。

在能量传输系统中，通过增益介质（例如聚四氟乙烯）和准分子反射器来传输和调整激光束的尺寸和功率密度。

氟化氪激光器常用于微电子学、材料加工、医学和科学研究等领域。它具有较短的波长（248纳米），高能量密度，可产生高质量的激光束和精细的加工效果。