氟化氪激光器
氟化氪激光器是一种气体激光器,其工作介质为氟化氪 (KrF) 气体。其基本结构包括放电腔体、反射镜和能量传输系统。
在激光器的放电腔体中,通过施加高电压和高频率的电场来激发氟化氪分子的能级跃迁,产生受激辐射并释放出激光能量。放电腔体一般采用平行板式或同心圆筒式结构,内部充入稀薄的氟化氪气体。
放电腔体两侧装有反射镜,其中一个反射镜是半透明的,以便将激光输出。两个反射镜的组合形成了光学腔,使激光在反射镜之间多次反射,从而增强激光的能量。
在能量传输系统中,通过增益介质(例如聚四氟乙烯)和准分子反射器来传输和调整激光束的尺寸和功率密度。
氟化氪激光器常用于微电子学、材料加工、医学和科学研究等领域。它具有较短的波长(248纳米),高能量密度,可产生高质量的激光束和精细的加工效果。