四氟化硅属于哪类物质 四氟化硅是一种无机化合物,也称为氟化硅酸。它由硅和氟两种元素组成,化学式为SiF4。在常温下,四氟化硅是一种无色、有毒、易燃的气体,具有刺激性和腐蚀性。它可以用作电子工业中的氟化剂、催化剂和制造半导体材料的原料等。