六氟化钨干什么用的

六氟化钨（WF6）是一种无机化合物，通常作为金属钨的前体材料。它在半导体工业中被广泛应用，用于生长高质量的钨薄膜和金属有机化学气相沉积（MOCVD）过程中作为钨的源材料。

在半导体工业中，六氟化钨可用于制造场效应晶体管（FET）和金属-绝缘体-金属（MIM）结构，并且是制造集成电路中非常重要的一步。此外，它还可用于生长纳米线和纳米颗粒。

总之，六氟化钨是一种重要的前体材料，在半导体工业中发挥着重要的作用。