氮化钽、一氮化钽的特性
氮化钽和一氮化钽的特性如下:
氮化钽:
- 具有良好的化学稳定性,能在高温、强酸和强碱环境下稳定存在;
- 具有优异的机械性能和导电性能,是一种优良的金属材料;
- 具有一定的光学性能,可作为反射镜、滤光镜等光学元件使用;
- 作为一种新型的电阻材料,可用于高温电阻、低温电阻等领域;
- 应用于半导体行业中,可制备金属化膜、掩模、接触电极等元件。
一氮化钽:
- 具有优异的机械性能和化学稳定性,可在高温、强酸和强碱环境下稳定存在;
- 具有良好的电学性能,是一种优良的半导体材料;
- 具有一定的光学性能,可作为反射镜、滤光镜等光学元件使用;
- 在微电子行业中,可用于制备电容器、电极、金属化膜等元件。