氮化锌的生产方法

氮化锌的生产方法主要有以下几种:

1. 化学气相沉积(CVD)法:利用化学气相沉积技术,在高温和高压下,将氮气和金属锌有机化合物(如二甲基锌)送入反应室,反应生成氮化锌薄膜或粉末。

2. 气相转移法:将金属锌和氮气共热在高温下,反应生成氮化锌粉末。

3. 熔融法:将金属锌和氮化物一起熔融,反应生成氮化锌粉末。

4. 气固反应法:在高温下,将金属锌和氨气反应生成氮化锌粉末。

以上生产方法中,CVD法是最常用的方法,可以获得高质量、大面积的氮化锌薄膜,适用于微电子器件和光电器件等应用。对于制备氮化锌粉末,气相转移法和熔融法是主要方法,具有制备量大、成本低的优点,但粉末的质量相对较差。