二氟化氙的应用领域
二氟化氙由于其强氧化性,被广泛应用于以下领域:
1. 化学加工:二氟化氙可以用作强氧化剂,在有机合成和有机氟化反应中起到催化作用。
2. 半导体制造:二氟化氙可以用于半导体制造过程中的化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)等工艺中,用来形成微米级别的氧化物和氮化物薄膜,以及金属-半导体接触界面的处理。
3. 涂层制备:二氟化氙可以用于涂层制备,制成陶瓷涂层、高温耐蚀涂层、摩擦材料等。
4. 电子器件:二氟化氙可以用于制备金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)中的氧化物层,以及表面微结构、电介质和电子束辐照技术等方面。
5. 其他领域:二氟化氙还可以用于制备其他高性能化合物,如高温超导体、氢氟酸盐、高能燃料等。