三氟化氮的国家标准

以下是与三氟化氮相关的一些中国国家标准：

1. GB/T 18827-2015 工业气体三氟化氮技术条件

该标准规定了工业用三氟化氮的技术要求、测试方法、包装、贮存和运输等。

2. GB/T 33614-2017 硅片制造用化学品 三氟化氮技术条件

该标准规定了用于半导体硅片制造的三氟化氮的技术要求、测试方法、包装、贮存和运输等。

3. GB/T 25366-2010 气相色谱用三氟化氮气体质量浓度参考物质

该标准规定了用于气相色谱的三氟化氮气体质量浓度参考物质的技术要求、测试方法、包装、贮存和运输等。

4. GB/T 27953-2011 硅晶圆加工用气体 氟化物类气体纯度检验

该标准规定了硅晶圆加工用氟化物类气体（包括三氟化氮）的纯度检验方法和要求。

这些标准对于规范三氟化氮的生产、使用和质量控制具有重要的指导作用。