砷化硼的生产方法

砷化硼的生产方法主要有以下两种：

1. 气相外延法（Gas Phase Epitaxy，GPE）：该方法是最常用的砷化硼生产方法之一。在高温（800℃-1200℃）和高压（10-100 atm）的条件下，将含有砷和硼原料的气体混合物输入反应室，通过化学反应在衬底上沉积出砷化硼薄膜。

2. 分子束外延法（Molecular Beam Epitaxy，MBE）：该方法也是常用的砷化硼生产方法之一。在真空下，通过分子束外延仪将单质砷和硼分子束束聚焦在衬底表面，使其自发形成晶体生长。该方法可以获得较高质量的砷化硼单晶。