一磷化钛的生产方法

一磷化钛可以通过以下两种方法进行生产：

1. 直接还原法：将钛粉末和磷化铝粉末混合后，放入高温炉中进行热处理，使其发生化学反应生成一磷化钛。这种方法可以在大气下或惰性气体下进行。

2. 气相沉积法：将钛源和磷源分别在氢气氛围下加热，使其产生反应生成一磷化钛，然后通过气相沉积的方式沉积在衬底上。这种方法需要在惰性气体或真空下进行。