磷化铟的生产方法

磷化铟的生产方法一般有两种：物理气相沉积法和金属有机化学气相沉积法。

1. 物理气相沉积法：该方法将铟和磷化氢在高温下反应，使得磷化铟颗粒在沉积基板上。该方法需要高温高真空条件，可以得到较高纯度的磷化铟。

2. 金属有机化学气相沉积法：该方法是将金属有机化合物和气态磷化氢同时进入反应室，在高温下进行反应生成磷化铟。该方法可以得到高质量的磷化铟薄膜，并且可以控制其厚度和形状。

此外，还有其他的生产方法，如分子束外延法、金属有机分解法等，这些方法在特定的应用领域中具有一定的优势。